“这……这可太牛逼了……”廖青山没想到从湾积电到这边来才三年，现在都可以立刻玩玩浸润光刻机了。

他一边走一边问：“咱这机器，和xt1700i相比怎么样？”

现在，asl的第一代浸润光刻机是做出来了的，刚刚才发布。双工作台，12的数字孔径，可以在45纳米制程下每小时加工122片12寸晶圆。

顾松笑道：“就看你能玩得这么样了。参数上，比xt1700i是差那么一些。不过新玩意，大家都有一个上手的过程，你的优势在于有最好的技术支持！”

廖青山请顾松坐到办公室的沙发上，一边倒着热水一边问道：“65纳米？每小时可以加工多少片？”

顾松叹气：“制程这一块也是能做45纳米量产，就是尖端机床也才出来，工艺水平得要一段时间才能赶上。虽然也是个双工作台，但一小时能加工的12寸晶圆，只能达到70多片的水平吧。”

“已经很牛逼了，已经很牛逼了。”廖青山端水过来的手都有点抖。

顾松赶紧接过来，喝了一口觉得暖和多了。

这真是三年磨一机啊。沪海微电子装备集全国相关单位之力，用了一年半时间才完成一套浸润式光刻魔改方案，在和舰科技那边试验成功。又用了一年半时间，才把这一台浸润式光刻样机搞出来。

这还是有顾松全程帮着做攻关的情况下。

而尖端机床也一样，四大机床厂，汇聚了最顶尖的力量，才弄出一台“尖端”机床。

仍然落后现在世界顶尖水平有一两代的差距。

没办法，虽然在控制系统等等这些软的方面，顾松提供了最优秀的方案。但是材料就是不过关，现有的工艺就是还不够。只能靠这台已经实现了飞跃式发展的机床，再迭代出更高端的机床，完全达到当初的预期设计目标。

因为人工智能谢茵然的下线，当初那份庞大的精密仪器及机械专项科研计划，做是都做完了，有不小的一部分，规格却没能达到当初预期的设计高度。

不过，这只是顾松的感觉而已。

殊不知，全国相关领域的科研院所和企业，这三年里感觉就在不停地过年。

而马上，就会到最终验收的时间点，那会是一场总结成绩和分果果的会议。06年的这个春节，很多人要过不好了。